Photocatalyst vent/waste gas treatment system

半導體行業的廢氣具有以下特點：低濃度、多組分、含有特殊化學物質（如有機矽化合物）。因此，專用光觸媒材料的開發主要集中在：
- 改性TiO2：通過摻雜金屬離子（如Fe、Cu）或非金屬元素（如N、S）來提高可見光響應和催化活性。
- 非TiO2基材料：如WO3、ZnO、SnO2等，對特定污染物有較高的選擇性。
- 複合材料：如TiO2/活性炭、TiO2/石墨烯、TiO2/沸石等，提高吸附能力和催化效率。

這些材料的開發目標是提高對半導體特有污染物（如HMDS、TEOS等）的降解效率，同時保持較長的使用壽命和穩定性。
結合光觸媒與吸附技術，提高對低濃度VOCs的去除效率：