超臨界之應用
超臨界流體技術（Supercritical Fluid Technology, SFT）因其優異的溶解能力和環保特性，在環境治理和資源回收方面顯示出良好的應用潛力。本文探討了超臨界流體的基本特性、應用於廢水處理、固體廢物管理及其在清潔生產中的應用，並分析了目前技術發展的挑戰及未來趨勢。研究表明，超臨界流體技術在有效去除有害物質和降低環境污染方面具有顯著優勢，並且在未來的可持續發展中將扮演重要角色。
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PFAS對先進製程良率的影響第二層分類PFAS對先進製程良率的影響
# PFAS對先進製程良率的影響
## 摘要
全氟和多氟烷基物質（PFAS）是一類廣泛應用於工業和消費品的化學物質，因其優異的耐熱性、耐化學性和潤滑性而受到青睞。然而，PFAS的環境持久性和生物累積性引發了廣泛的環保關注，尤其是在半導體和先進製程中。本文探討PFAS對先進製程良率的影響，分析其在製程中的應用、潛在的污染源、對產品品質的影響以及環境與健康問題，並提出相應的應對策略。
